半导体芯片制造工一级高级技师-氧化扩散工 详细题库

静电的产生、危害及消除方法 题目预览

• 第 1 题 单选题
  静电的产生本质上是（ ）。
  • A. 电荷的分离和积累
  • B. 电流的持续流动
  • C. 电场的突然变化
  • D. 磁场的感应作用
  解析：静电产生是由于物体间摩擦、接触分离等原因导致电荷分离并积累，形成静电场。
• 第 2 题 单选题
  在氧化扩散工段，静电可能由（ ）操作引起。
  • A. 炉门开关
  • B. 晶圆取放
  • C. 气体流量调节
  • D. 温度监控
  解析：晶圆取放过程中，晶圆与载具或人员接触摩擦容易产生静电，对半导体器件造成潜在危害。
• 第 3 题 单选题
  下列因素中，能促进静电产生的是（ ）。
  • A. 增加空气湿度
  • B. 使用防静电服
  • C. 快速移动绝缘体
  • D. 设备良好接地
  解析：快速移动绝缘体会增强摩擦或接触分离，导致电荷转移和积累；其他选项是减少静电的措施。
• 第 4 题 单选题
  静电产生时，电荷转移的主要载体是（ ）。
  • A. 质子
  • B. 中子
  • C. 离子
  • D. 电子
  解析：静电产生通常涉及电子从一个物体转移到另一个物体，导致电荷不平衡，从而积累静电荷。
• 第 5 题 判断题
  静电的产生必须要有两个物体之间的直接接触。
  • A. 对
  • B. 错
  解析：静电产生可以通过感应方式实现，不需要直接接触，例如带电物体靠近中性物体会感应出电荷。
• 第 6 题 判断题
  在半导体制造中，静电产生只会对人员安全造成危害。
  • A. 对
  • B. 错
  解析：静电产生不仅危害人员安全，还可能击穿半导体器件、吸附尘埃影响工艺，导致产品失效。
• 第 7 题 多选题
  静电的产生可能由以下哪些原因引起？（ ）
  • A. 摩擦起电
  • B. 接触分离起电
  • C. 感应起电
  • D. 热电效应
  • E. 光电效应
  解析：摩擦起电、接触分离起电和感应起电是静电产生的常见方式；热电效应和光电效应通常与静电产生无直接关联。
• 第 8 题 多选题
  在半导体芯片制造中，下列哪些操作容易产生静电？（ ）
  • A. 晶圆搬运
  • B. 塑料包装拆卸
  • C. 人员穿戴化纤衣物走动
  • D. 使用金属工具操作
  • E. 设备接地良好
  解析：晶圆搬运、塑料包装拆卸和人员穿戴化纤衣物走动都易因摩擦或接触分离产生静电；使用金属工具操作若未接地可能产生静电，但设备接地良好是防静电措施，不易产生静电。